特許
J-GLOBAL ID：200903026521266257
プロ-ブ及びこれを用いたプロ-ブカ-ド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-109580
公開番号（公開出願番号）：特開2000-046871
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：
【要約】【目的】 隣り合う被検査部を同時に検査するように用いることができるプローブ及びプローブカードを提供すること【解決手段】 プローブは、針先部と、該針先部の後端に続く変形された針中央部と、該針中央部の後端に続く針後部とを含む。針先部及び針後部は、針中央部から同じ側に向けて湾曲されている。プローブは、針先部及び針後部が針中央部に対し隣の被検査部用のプローブの側となるようにプローブカードに組み付けられる。
請求項（抜粋）：
針先部と、該針先部の後端に続く変形された針中央部と、該針中央部の後端に続く針後部とを含み、前記針先部及び前記針後部は、前記針中央部から同じ側に向けて湾曲されている、プローブ。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 1/067
, H01L 21/66
G01R 1/073 E
, G01R 1/067 G
, H01L 21/66 B
