特許
J-GLOBAL ID：200903026534283908
投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-056946
公開番号（公開出願番号）：特開平5-217841
出願日： 1992年02月07日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【目的】 縮小投影露光装置(ステッパ)の光源面の形状を変化させる超解像リソグフィを、遮光フィルタを使用せずに実現し、解像の安定性を向上させる。【構成】 i線ステッパの投影光学系中、光源からの露光光の照度を均一化するためのフライアイ(蠅の目)レンズ4に、遮光部4aを直接組み込む。実際のフライアイレンズ4は、より多くの微小レンズLから構成されるので、上記の遮光部4aの断面形状はほぼ円形である。これにより、レチクルに入射する露光光の高調波成分が相対的に増大し、従来の輪帯照明と同じ原理にもとづいて解像度を高めることができる。ただし、本発明では従来技術と異なり遮光フィルタを用いないので、遮光フィルタの熱変形による解像の不安定化や他の光学系への悪影響を回避できる。
請求項（抜粋）：
投影光学系により基板上にレチクルのパターンを投影する投影露光装置において、前記投影光学系中のフライアイレンズに遮光部が具備されてなることを特徴とする投影露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 311 L
, H01L 21/30 311 S
