現像装置及び現像方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-218694
公開番号（公開出願番号）：特開2000-035681
出願日： 1998年07月17日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】ミストの発生を抑え、かつ、現像液によって基板に対して十分な衝撃力を与えることができる現像装置及び現像方法を提供すること。【解決手段】現像液吐出機構53では、水平方向に配置された保持棒68に複数のスプレーノズル69が取り付けられている。各スプレーノズル69は、下方向にカーテン状に連続する流形を描き、かつ、円錐状に広がるように現像液を吐出する。これらスプレーノズル69より吐出された現像液が隣接するスプレーノズル69間で相互に重なり、かつ、現像液が吐出される範囲が、一方がガラス基板Gのほぼ角部?@に及び、他方がガラス基板Gの長辺のほぼ中央部?Aに及ぶようになっている。

請求項（抜粋）：

基板を保持しつつ回転する保持回転手段と、前記保持回転手段により回転される基板表面に対し、カーテン状に連続する流形を描くように現像液を吐出する吐出手段とを具備することを特徴とする現像装置。

IPC (4件)：

G03F 7/30 502 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/30 502 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505 , H01L 21/30 569 C , H01L 21/30 569 F

Fターム (16件)：

2H048BA45 , 2H091FC01 , 2H091FC10 , 2H091FC24 , 2H091FC29 , 2H091LA12 , 2H096AA30 , 2H096GA18 , 2H096GA21 , 2H096GA23 , 2H096GA26 , 2H096GA29 , 2H096GA30 , 5F046LA01 , 5F046LA04 , 5F046LA14

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭61-065435
特開昭62-229837
特開昭61-065435

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