製造条件の管理指示方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富田和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-147744
公開番号（公開出願番号）：特開平7-021271
出願日： 1993年06月18日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】半導体の各種製造プロセス条件等の管理指示にその定義方式、各種情報との関係付けの標準化を実現する基本概念を提供することにより、それらの製造条件をだれでも、効率良く検索できる手段を提供する。【構成】各種製造プロセス条件の有機的な関係を、立体的なデータ構造を使用した概念でとらえ、工程コード、規格コード、設備条件コード等を使用して関係付ける。さらに、該コード類を、ロット、基準プロセス、品種単位の製造工程フロー、設備製造条件等に対応付けて管理することにより、前記コード類を活用した多種多様な条件の中から、特定の1条件の検索、関連データの摘出、条件指示等を行う。

請求項（抜粋）：

製品の製造条件を管理し、要求に応じて製造条件を与える、製造条件の管理指示方法において、製品製造のための工程を少なくとも1以上含む第1情報群と、第1情報群における各工程に対して、ロット番号および品種名のうち少なくとも一方を含む情報を第2情報群として対応づけ、さらに、前記第1情報群および第2情報群に対応して、使用可能設備を含む第3情報群を対応づけておき、前記第1情報群および第2情報群が指定されたとき、前記第3情報群を提供することを特徴とする製造条件の管理指示方法。

IPC (2件)：

G06F 17/60 , H01L 21/02

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-069915
製造条件管理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-234258 出願人：九州日本電気株式会社
特開平3-239457

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