特許

J-GLOBAL ID：200903026600116074

2層構造絶縁膜及びそれを用いた電子装置及びTFT液晶表示装置

発明者： 山本 睦 ,  桑田 純 ,  小関 秀夫
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-210020
公開番号（公開出願番号）：特開平6-061490
出願日： 1992年08月06日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】 電界が印加される相対する電極間の絶縁性を確保するための2層構造絶縁膜において、電極配線段差部の高さ、及び各絶縁膜の厚さを最適化することにより電極間の電気的短絡が無く、高い絶縁耐圧を実現する。【構成】 段差を有する電極配線の段差部の高さ、及び各絶縁膜の厚さが全て(数1)の条件を満たす構成とする。

請求項（抜粋）：

段差を有する電極配線上に形成された2層構造よりなる絶縁膜が、電極配線段差部を覆う部分の表面形状が特異点を持つ非連続曲線で表わされる形状の第1の絶縁膜と、第1の絶縁膜の段差部を覆う部分の表面形状が特異点を持たない連続曲線で表わされる形状の第2の絶縁膜との積層構造であることを特徴とする2層構造絶縁膜。

IPC (5件)：

H01L 29/784 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/318 ,  H01L 21/90

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-055618
  
• 薄膜回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-212959   出願人：富士ゼロツクス株式会社