特許
J-GLOBAL ID:200903026601951848

元素分析装置および元素分析方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 猪股 祥晃 ,  菊池 治 ,  猪股 弘子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-374463
公開番号(公開出願番号):特開2005-140529
出願日: 2003年11月04日
公開日(公表日): 2005年06月02日
要約:
【課題】簡単に移動することができ、分析対象の微小領域の画像情報と含有元素情報を同時に得ることのできる元素分析装置を提供する。【解決手段】パルスレーザ光を発生するパルスレーザ発振器2と、前記パルスレーザ光を受けて照射用光ファイバ10に入射させる光ファイバ入射装置15と、前記照射用光ファイバ10に接続されて前記パルスレーザ光を分析対象物13に照射し前記照射によって生成したブレイクダウンプラズマ12から放出される蛍光を検出し分光する分光検出器4と、前記分光の結果および前記画像を表示する表示装置7と、前記パルスレーザ発振器2および前記分光検出器4の動作のタイミングを調整するタイミング調整装置17とを備え、前記パルスレーザ発振器2、前記光ファイバ入射装置15、前記分光検出器4、前記表示装置7および前記タイミング調整器17は一体として移動しうる分析装置本体1を構成している構成とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
パルスレーザ光を発生するパルスレーザ発振器と、前記パルスレーザ光を受けて照射用光ファイバに入射させる光ファイバ入射装置と、前記照射用光ファイバに接続されて前記パルスレーザ光を分析対象物に照射し前記照射によって生成したブレイクダウンプラズマから放出される蛍光を受光するとともに前記分析対象物のレーザ光照射部位の画像を採取する分析ヘッドと、前記照射用光ファイバおよび前記光ファイバ入射装置を経て伝送された前記蛍光を検出し分光する分光検出器と、前記分光の結果および前記画像を表示する表示装置と、前記パルスレーザ発振器および前記分光検出器の動作のタイミングを調整するタイミング調整装置とを備え、前記パルスレーザ発振器、前記光ファイバ入射装置、前記分光検出器、前記表示装置および前記タイミング調整器は一体として移動しうる分析装置本体を構成していることを特徴とする元素分析装置。
IPC (2件):
G01N21/63 ,  G01N21/64
FI (2件):
G01N21/63 A ,  G01N21/64 Z
Fターム (20件):
2G043AA01 ,  2G043CA01 ,  2G043CA03 ,  2G043CA05 ,  2G043EA01 ,  2G043EA10 ,  2G043FA01 ,  2G043FA06 ,  2G043GA01 ,  2G043GB01 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA05 ,  2G043HA07 ,  2G043HA09 ,  2G043JA01 ,  2G043KA07 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA03
引用特許:
出願人引用 (1件)

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