特許
J-GLOBAL ID：200903026613418614
レチクル平坦度計測装置、およびレチクル平坦度計測装置を搭載した露光装置、並びにレチクル平坦度計測方法、およびレチクル平坦度計測方法を用いた露光方法、並びに露光装置を用いたデバイスの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
板垣 孝夫
, 森本 義弘
, 笹原 敏司
, 原田 洋平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-243487
公開番号（公開出願番号）：特開2008-066543
出願日： 2006年09月08日
公開日（公表日）： 2008年03月21日
要約：
【課題】露光装置に設置された状態のレチクルのパターン面の面形状を高精度に計測するレチクル平坦度計測装置を提供する。【解決手段】レチクル101のパターン面とは反対側の面(裏面)に照射部108から検出光を斜入射し、その反射光を受光部109で受光し、その受光部109の出力を基に演算部110がレチクル101の裏面の垂直方向の位置を検出する。格納部111にはレチクル101の厚みの情報が格納されており、制御部112は、演算部110が検出したレチクル101の裏面の垂直方向の位置の情報にレチクル101の厚みの情報を加算して、レチクル101のパターン面の面形状を計測する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レチクルのパターン面とは反対側の面に光を斜入射する照射部と、
前記反対側の面からの反射光を受光する受光部と、
前記受光部の出力を基に前記反対側の面の、その前記反対側の面と略垂直な方向の垂直位置を検出する検出部と、
前記レチクルの厚みの情報が予め格納される格納部と、
前記検出部により検出された垂直位置の情報と前記格納部に格納された厚みの情報を基に前記パターン面の面形状を計測する計測部と、
を備えることを特徴とするレチクル平坦度計測装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 516A
, G03F7/20 521
, H01L21/30 515D
5F046CB17
, 5F046DA05
, 5F046DA13
, 5F046DB04
, 5F046DC04
