特許

J-GLOBAL ID：200903026702586326

監視手段を備えた高周波誘導熱プラズマ装置

発明者： 水野 光一 ,  大内 日出夫 ,  吉田 豊信 ,  朝倉 友美 ,  植松 信行 ,  小牧 久
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  東京大学長 ,  東京電力株式会社 ,  新日本製鐵株式会社 ,  日本電子株式会社
代理人 (2件)： 工業技術院資源環境技術総合研究所長 (外2名) ,  井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-227515
公開番号（公開出願番号）：特開平7-085991
出願日： 1993年09月13日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】 プラズマの軸とは垂直な方向の形状を正確に監視することができる高周波誘導熱プラズマ装置を実現する。【構成】 管2とチャンバー5内に発生したプラズマは、パイプ22下部のガラス窓21の外側に配置されたビデオカメラ27によって撮像される。カメラ27の出力はモニタ28に供給され、モニタ28の画面上にはプラズマの軸方向の形状が映し出される。オペレータは、モータ28上のプラズマの形状を監視し、理想的な形状となるようにガスリング3に供給するガスや被分解物質などの量の制御を行う。

請求項（抜粋）：

プラズマ発生用ガスが一端から供給される管と、管の外側に配置された高周波誘導コイルとを備え、管内でプラズマを発生させるようにした高周波誘導熱プラズマ装置において、発生するプラズマの軸方向にプラズマ監視手段を設けたことを特徴とする高周波誘導熱プラズマ装置。

IPC (3件)：

H05H 1/00 ,  H05H 1/30 ,  H05H 1/46

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ガス純化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-255074   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭58-102498
  
• 特開昭63-157121