タンタルのめっき法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-097861
公開番号（公開出願番号）：特開2001-279486
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：

【要約】【課題】低温の溶融塩電解浴を用いて、めっき法によりタンタル膜の形成方法を提供すること。【構成】五塩化タンタルとアルキルイミダゾリウムクロライドと弗化リチウムなどのアルカリ金属またはアルカリ土類金属の弗化物からなる溶融塩を電解浴に用いることを特徴とするタンタルのめっき法。

請求項（抜粋）：