特許
J-GLOBAL ID：200903026785781184
研磨機
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中林 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-194392
公開番号（公開出願番号）：特開2001-018152
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：
【要約】【課題】 各キャリヤがどのような位置に停止しても、各ワーク保持用の孔からワークを容易に取り出すことができるようにする。【解決手段】 公転、自転するキャリヤを有する加工部と、未加工のワークを待機させるローディング部と、加工済みのワークを待機させるローディング部と、ローディング部から未加工のワークを取り出して加工部へ移送し、加工部から加工済みのワークを取り出してアンローディング部へ移送する移送部とを具えた研磨機において、加工部によるワークの研磨が終了したとき、そのときの各キャリヤの公転方向、自転方向の位置に応じて、移送部のアンローディング側ヘッドを公転方向に回転させ、アンローディング側ヘッドの各基板を自転方向に回転させるように構成する。
請求項（抜粋）：
太陽ギアと、インターナルギアとの間に複数のキャリヤが噛合され、各キャリヤには複数箇所にワーク保持用の孔が設けられ、太陽ギアの回転時に各キャリヤが公転、自転するようになっている加工部と、未加工のワークが載置されるローディング部と、加工済みのワークが載置されるアンローディング部と、ローディング部から未加工のワークを取り出して加工部に移送するとともに、加工部から加工済みのワークを取り出してアンローディング部に移送する回転可能なヘッドを有する移送部とを具え、前記移送部のヘッドの前記加工部の各キャリヤに対応する部分にはそれぞれ基板が回転可能に設けられ、各基板の前記加工部の各キャリヤの各ワーク保持用の孔に対応する部分にはそれぞれチャックが設けられ、前記加工部によるワークの研磨が終了したとき、そのときの前記各キャリヤの公転方向、自転方向の位置に応じて、前記ヘッドを公転方向に回転させ、前記各基板を自転方向に回転させるように構成したことを特徴とする研磨機。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 7/17 Z
, B24B 37/04 Z
3C043BC07
, 3C043BC08
, 3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AA13
, 3C058AA16
, 3C058AB03
, 3C058AB04
, 3C058AB06
, 3C058AB08
, 3C058BA02
, 3C058BA07
, 3C058BC01
, 3C058BC02
, 3C058CA01
, 3C058CB03
, 3C058CB04
, 3C058DA06
, 3C058DA09
