特許

J-GLOBAL ID：200903026801406453

静電駆動型アクチュエータ及びそれを用いた光スイッチ

発明者： 桐原 昌男 ,  長谷川 祐也 ,  村井 章彦 ,  岡 直正 ,  平田 勝弘 ,  宮島 久和 ,  荻原 淳 ,  光武 義雄 ,  河田 裕志 ,  高倉 信之 ,  山本 政博
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-030505
公開番号（公開出願番号）：特開2004-242455
出願日： 2003年02月07日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】光スイッチ、特にマトリクス光スイッチに好適な小型・低電力の静電駆動型アクチュエータを提供する。【解決手段】静電吸引力によって変形する可動部材と、前記可動部材と接合してなる固定部材と、前記可動部材が吸引された状態で形状を保持する磁力吸着部材とを有する静電駆動型アクチュエータであって、前記固定部材は、前記可動部材と接合する接合部と、前記接合部に接合して前記可動部材の長さ方向の先端に向かうほど前記可動部材との距離が長くなる形状を有する固定電極部と、を有し、前記可動部材は、前記接合部に接合して変形する可動電極部と、前記可動電極部の前記接合部の反対側の先端に取り付けられて軟磁性板からなる磁性部と、を有し、前記磁力吸着部材は、前記可動電極部が静電吸引力で前記固定電極部に吸引された状態で磁気吸引力によって前記磁性部を保持する永久磁石部と、前記永久磁石部の磁場を弱める電磁石部と、を有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

略平板状であって静電吸引力によって変形する可動部材と、前記可動部材と接合部を介して接合し前記可動部材を静電吸引力によって吸引する固定部材と、前記可動部材が吸引された状態で形状を保持する磁力吸着部材とを有する静電駆動型アクチュエータであって、 前記固定部材は、前記可動部材と接合する接合部と、前記接合部に接合して前記可動部材の長さ方向の先端に向かうほど前記可動部材との距離が長くなる形状を有する固定電極部と、を有し、 前記可動部材は、前記接合部に接合して静電吸引力で変形する可動電極部と、前記可動電極部の前記接合部の反対側の先端に取り付けられて軟磁性板からなる磁性部と、を有し、 前記磁力吸着部材は、前記可動電極部が静電吸引力で前記固定電極部に吸引された状態で磁気吸引力によって前記磁性部を保持する永久磁石部と、前記永久磁石部の磁場を弱める電磁石部と、を有することを特徴とする静電駆動型アクチュエータ。

IPC (3件)：

H02N1/00 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08

FI (3件)：

H02N1/00 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08 E

Fターム (7件)：

2H041AA14 ,  2H041AA16 ,  2H041AB13 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08