特許

J-GLOBAL ID：200903026813641288

光学式変位測定装置

発明者： ▲高▼宮 誠 ,  石塚 公
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-193317
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038517
出願日： 1996年07月23日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】 回折格子を設けたスケールにアジマスや回転方向の取付ズレが生じても、回折光の合波光束に受光面上で空間的な干渉縞が発生しないようにした光学的変位測定装置を提供する。【解決手段】 回折格子G1に1光束をスポット投影する投光手段1,2,3と、この光束投影位置からの複数の回折光を、複数の回折光が共に平行光束でかつ互いに平行となる形態で合波する合波光学系3,5a,5b,6とを有し、合波された状態で得られる干渉光束を受光する。

請求項（抜粋）：

相対変位を検出すべき物体上に設けられた回折格子に光束をスポット投影する投光手段と、前記回折格子のスポット投影位置からの次数の異なる回折光を、該次数の異なる回折光が共に平行光束でかつ互いに平行である形態か、あるいは該次数の異なる回折光の波面が同一曲率中心を有する形態で、互いに合波して得られる干渉光束を受光する光検出手段とを有することを特徴とする光学式変位測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01D 5/36 ,  G01D 5/38

FI (3件)：

G01B 11/00 G ,  G01D 5/36 S ,  G01D 5/38 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 光学式変位測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-308123   出願人：キヤノン株式会社