特許

J-GLOBAL ID：200903026847133362

高純度窒化珪素質耐食性部材及びその製造方法

発明者： 伊東 裕見子 ,  佐藤 政宏 ,  坂上 勝伺 ,  福留 武郎
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-191643
公開番号（公開出願番号）：特開2000-026166
出願日： 1998年07月07日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：

【要約】【課題】耐熱性に優れた窒化珪素質焼結体からなり、パーティクルの発生を抑制しうる窒化珪素質耐食性部材とその製造方法を提供する。【解決手段】 窒化珪素を主相とし、不純物酸素をSiO2 換算で1.0〜15.0重量%含み、かつそれ以外のSi以外の不純物金属量の総量が0.1重量%以下の粉末を成形し、非酸化雰囲気中1600〜2000°C、150〜500kgf/cm2 で加圧焼成し、相対密度95%以上の高純度窒化珪素質焼結体からなる耐食性部材を得る。

請求項（抜粋）：

ハロゲン系腐食ガスあるいはそのプラズマと直接接触する表面が、窒化珪素を主相とし、酸素をSiO2 換算で1.0〜15.0重量%含有し、かつSi以外の不純物金属量が総量で0.1重量%以下、相対密度95%以上の焼結体からなることを特徴とする高純度窒化珪素質耐食性部材。

IPC (5件)：

C04B 35/584 ,  C04B 35/645 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

C04B 35/58 102 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68 N ,  C04B 35/64 N ,  H01L 21/302 B

Fターム (49件)：

4G001BA04 ,  4G001BA32 ,  4G001BA71 ,  4G001BA73 ,  4G001BB04 ,  4G001BB32 ,  4G001BB71 ,  4G001BB73 ,  4G001BC13 ,  4G001BC42 ,  4G001BC43 ,  4G001BC52 ,  4G001BC54 ,  4G001BC55 ,  4G001BD04 ,  4G001BD13 ,  4G001BD37 ,  4G001BD38 ,  4G001BE11 ,  4G001BE33 ,  4G001BE35 ,  5F004AA15 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB13 ,  5F004BB14 ,  5F004BB29 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA04 ,  5F004DA11 ,  5F004DA16 ,  5F004DA17 ,  5F004DA18 ,  5F004DA20 ,  5F004DA23 ,  5F004DA29 ,  5F031DA13 ,  5F031EA02 ,  5F031EA04 ,  5F031MA23 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031PA26 ,  5F045AA08 ,  5F045BB14 ,  5F045EB03 ,  5F045EC05 ,  5F045EM09

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 高周波用低損失誘電体材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-011577   出願人：京セラ株式会社
• 特開平4-077365
  
• 高周波導入窓材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-098684   出願人：京セラ株式会社
• 特開平4-077365