特許
J-GLOBAL ID：200903026860942644
光導波路素子およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森岡 正樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-238776
公開番号（公開出願番号）：特開平11-194223
出願日： 1998年08月25日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：
【要約】【課題】本発明は、薄膜レンズが備えられた光導波路素子に関する。【解決手段】レーザー・ビーム8をチャンネル導波路7端面に集光し、PLZT薄膜光導波路4へ導入する。入射したレーザー・ビーム8はチャンネル導波路から出射するとPLZT光導波路内で発散し、薄膜レンズ5を通過して0.4mmにコリメートされる。くし形Al電極6に高周波電圧を印加しない場合、レーザー・ビームは2つめの薄膜レンズ5を通過すると集光され、チャンネル導波路を通じて端面から出射して射出ビーム9となる。くし形Al電極6に高周波電圧を印加した場合、音響光学効果によって回折格子が形成され、レーザー・ビームが偏向される。偏向されたレーザー・ビームは2つめの薄膜レンズ5を通過すると集光され、上記のチャンネル導波路の隣のチャンネル導波路を通じて端面から出射して偏向された射出ビーム10となる。
請求項（抜粋）：
単結晶基板表面に設けられ、レンズ形状に形成されてレンズ部を構成するエピタキシャルまたは単一配向性の第1の強誘電体薄膜と、前記単結晶基板上に形成されて光導波路部を構成し、前記第1の強誘電体薄膜とは異なる材料または組成からなるエピタキシャルまたは単一配向性の第2の強誘電体薄膜とを備え、前記レンズ部と前記光導波路部の実効屈折率が異なることを利用して、前記光導波路部に入射した光ビームを制御することを特徴とする光導波路素子。
引用特許：
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