柔軟な基体のための高い耐摩耗性及び柔軟なコーティング

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外7名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-523566
公開番号（公開出願番号）：特表平10-500609
出願日： 1995年03月01日
公開日（公表日）： 1998年01月20日
要約：

【要約】基体と、炭素、水素、ケイ素及び酸素を含む耐摩耗性コーティング材料を含有する耐摩耗性の被覆基体製品が記載される。耐摩耗性コーティング材料は、約2〜約5GPaの範囲のナノインデンテーション硬度、約1%より大きいひずみ対微小割れ、及び可視スペクトルにおいて85%を超える透明度を有する。本発明の被覆製品は、眼科用レンズ又はレーザーバーコードスキャナーウィンドウ等の光学的応用への利用に適する。製品の製造方法においては、汚染物質を除去するため、第1に基体を化学洗浄する。第2の工程で、基体を真空チャンバーに挿入し、該チャンバーを脱気する。第3の段階で、残りの炭化水素及び表面酸化物の除去を完全にして表面を活性化するために、基体表面を強力イオン及び/又は反応種で攻撃する。基体表面をエッチングした後、保護さら、耐摩耗性のコーティングをプラズマ又はイオンビーム蒸着によって蒸着する。コーティングの厚みの選択が行われるようになったら、基体上の蒸着工程を終了し、真空チャンバーの圧力を大気圧まで上昇させ、耐摩耗性の向上したコーティングされた製品を真空チャンバーから取り出す。

請求項（抜粋）：

基体と、炭素、水素、ケイ素及び酸素を含む耐摩耗性コーティング材料とを含有する耐摩耗性の被覆基体製品であって、上記耐摩耗性コーティング材料が、約2〜約5GPaの範囲のナノインデンテーション硬度及び約1%より大きいひずみ対微小割れを有することを特徴とする、製品。

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平1-132779
特開平4-270736
表面被覆プラスチックス製品
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-006839 出願人：三菱化成株式会社

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