特許
J-GLOBAL ID：200903026871689827
エラー表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船津 暢宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-278859
公開番号（公開出願番号）：特開平9-120312
出願日： 1995年10月26日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：
【要約】【課題】 従来のエラー表示装置では、対処に時間がかかるために生産効率が低下し、マニュアル等から発生する塵等が加工している材料を不良にしてしまうという問題点があったが、本発明では、エラーの原因と対処方法とを表示することができるエラー表示装置を提供する。【解決手段】 制御部1′がエラーを発生原因で分類したエラーコードを出力し、表示部3′が、エラーコードを基に記憶部2′に格納されているエラーメッセージを参照して表示し、また、入力部4を介してユーザによって選択された表示中のエラーの一つについて、その発生原因と対処方法とを記憶部2′を参照して表示するエラー表示装置である。
請求項（抜粋）：
エラーが検知されるとエラーメッセージを表示し、当該エラーメッセージが選択されるとエラーの発生原因及び対処方法を表示することを特徴とするエラー表示装置。
IPC (2件)：
G05B 23/02 301
, H01L 21/02
G05B 23/02 301 Y
, H01L 21/02 D
