特許
J-GLOBAL ID：200903026881200915

エッチング液、該エッチング液を用いた透明導電膜のエッチング方法及び被エッチング基板

発明者：
井原 孝

井原 孝 について


出願人/特許権者：
東亞合成株式会社

東亞合成株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-073224
公開番号（公開出願番号）：特開2009-231427
出願日： 2008年03月21日
公開日（公表日）： 2009年10月08日
要約：
【課題】 ITO(インジウム・チン・オキサイド)等の金属酸化物を用いた透明導電膜のエッチングには、従来より、塩酸の割合が多い塩化第二鉄系や、王水系が使用されているが、酸性臭気によって作業環境が悪化し、更には周辺の計測機器や建造物などが腐食するという問題があった。【解決手段】 エッチング液として、濃度が、4A+B≧50かつ2A+B≦53であって-A+0.39B≧-7.5かつB≦40(ただし、Aは塩酸の濃度(質量%)、Bは塩化第二鉄の濃度(質量%))の塩酸と塩化第二鉄の水溶液を用いることにより、塩化水素の臭気が抑えられるばかりでなく、透明導電膜のアンダーカットも小さく、エッチング装置の腐食も抑えることができた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
塩酸と塩化第二鉄の水溶液であって、濃度が、4A+B≧50かつ2A+B≦53であって-A+0.39B≧-7.5かつB≦40(ただし、Aは塩酸の濃度(質量%)、Bは塩化第二鉄の濃度(質量%))の範囲で示されるエッチング液。
IPC (4件)：
H01L 21/306 ,  H01B 13/00 ,  H01B 5/14 ,  C23F 1/30
FI (5件)：
H01L21/306 F ,  H01B13/00 503D ,  H01B5/14 A ,  H01B5/14 B ,  C23F1/30
Fターム (15件)：
4K057WA11 ,  4K057WA20 ,  4K057WB11 ,  4K057WE08 ,  4K057WG01 ,  4K057WG02 ,  4K057WN01 ,  5F043AA26 ,  5F043BB18 ,  5F043DD07 ,  5F043EE29 ,  5F043GG02 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G323CA01
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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