検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：落合稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-076310
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271438
出願日： 1995年03月31日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】試料表面における傷などの有無を正確に検査することができると共に、検査時間を短縮することができる検査装置を提供することを目的とする。【構成】拡散光を出射する拡散光源15と、拡散光源15を内部に有し拡散光源15からの光を反射させる内壁2aに囲われ、試料Sを挿入するための試料挿入口11、および試料挿入口11から挿入された試料Sで反射した光を外部に出射するための観測口12が内壁2aにそれぞれ形成されている照射室2と、挿入された試料Sで反射した光のうち観測口12から出射される平行光を集光するレンズ系32〜36、およびその後側焦点またはその近傍に配設された開口絞り37を有する物側テレセントリック光学部21を含んで構成される観測手段3とを備えて構成した。

請求項（抜粋）：

拡散光を出射する拡散光源と、当該拡散光源を内部に有し当該拡散光源からの光を反射させる内壁に囲われ、試料を挿入するための試料挿入口と、当該試料挿入口から挿入された試料で反射した光を外部に出射するための観測口とが前記内壁にそれぞれ形成されている照射室と、前記挿入された試料で反射した光のうち観測口から出射される平行光を集光するレンズ系と、当該レンズ系の後側焦点またはその近傍に配設された開口絞りとを有する物側テレセントリック光学部を含んで構成される観測手段と、を備えていることを特徴とする検査装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

表面検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-111170 出願人：松下電器産業株式会社
特開平4-315037
特開平4-249752

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