特許
J-GLOBAL ID:200903026921907812
塗布装置及び方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
萩野 平 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-126477
公開番号(公開出願番号):特開平7-328509
出願日: 1994年06月08日
公開日(公表日): 1995年12月19日
要約:
【要約】【目的】 有機溶剤の塗布の際に生じる温度変化による部材のたわみ等を防止し、狭いビードクリアランスを高精度で維持することのできる塗布装置を提供する。【構成】 スライドビードコーターで有機溶剤系の塗布液を支持体に塗布する塗布装置において、前記スライドビードコーターが線膨張係数3×10-6以下の素材で構成される。前記スライドビードコーターが、重量%にて、Cr:9.0%〜10.5%Co:52.5%〜56.0%残部がFe及び不可避的不純物からなる合金により構成される。
請求項(抜粋):
スライドビードコーターで有機溶剤系の塗布液を支持体に塗布する塗布装置において、前記スライドビードコーターが線膨張係数3×10-6以下の素材で構成されたことを特徴とする塗布装置。
IPC (2件):
引用特許:
出願人引用 (7件)
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特開平2-071869
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低熱膨張合金粉末とその組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-311108
出願人:大同特殊鋼株式会社
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窒化珪素と金属の鋳ぐるみ複合体
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-257791
出願人:日本碍子株式会社
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塗布方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-274128
出願人:コニカ株式会社
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塗布装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-290581
出願人:三菱マテリアル株式会社
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塗布装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-265202
出願人:三菱マテリアル株式会社
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特開平2-265674
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審査官引用 (5件)
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特開平2-071869
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低熱膨張合金粉末とその組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-311108
出願人:大同特殊鋼株式会社
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窒化珪素と金属の鋳ぐるみ複合体
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-257791
出願人:日本碍子株式会社
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塗布方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-274128
出願人:コニカ株式会社
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特開平2-071869
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