特許

J-GLOBAL ID：200903026923090872

再生ターゲット材およびターゲット材の再生方法

発明者： 瀬 戸 康 博 ,  高 井 恵 一
出願人/特許権者： 三井金属鉱業株式会社
代理人 (4件)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより ,  鈴木 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-187922
公開番号（公開出願番号）：特開2005-023350
出願日： 2003年06月30日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：

【課題】合金ターゲット材のスクラップを、合金構成金属に分離精製する事なく再生利用する方法および再生ターゲット材。【解決手段】本発明のターゲット材の再生方法として、(i)使用済みの合金ターゲット材スクラップの表面をクリーニングし、(ii)不活性雰囲気中で加熱溶融させた後、冷却凝固させて合金インゴットを得て、(iii)該合金インゴットを粉砕して得られた合金粉末を不活性雰囲気中で焼結させる。再生ターゲット材は、少なくともAg、In、Sb、Teを主成分として含み、酸素原子を1000ppm〜10000ppmの量で含有している相変化光記録膜用ターゲット材。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(i)使用済みの合金ターゲット材スクラップの表面をクリーニングし、 (ii)該合金ターゲット材スクラップを不活性雰囲気中で加熱溶融させた後、冷却凝固させて合金インゴットを作成し、 (iii)該合金インゴットを粉砕し、得られた合金粉末を不活性雰囲気中で焼結させることを特徴とするターゲット材の再生方法。

IPC (5件)：

B22F8/00 ,  C22B1/00 ,  C22B7/00 ,  C23C14/34 ,  G11B7/26

FI (5件)：

B22F8/00 ,  C22B1/00 601 ,  C22B7/00 F ,  C23C14/34 A ,  G11B7/26

Fターム (23件)：

4K001AA01 ,  4K001AA15 ,  4K001AA24 ,  4K001AA26 ,  4K001BA22 ,  4K001CA02 ,  4K001CA07 ,  4K001CA49 ,  4K001DA01 ,  4K018AA02 ,  4K018AA40 ,  4K018BA01 ,  4K018BA20 ,  4K018BB08 ,  4K018BC08 ,  4K018BC12 ,  4K018DA31 ,  4K018KA29 ,  4K029BD00 ,  4K029DC04 ,  4K029DC09 ,  5D121EE11 ,  5D121EE13

引用特許：

審査官引用 (2件)

• スパッタリングターゲットの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-251384   出願人：三井金属鉱業株式会社
• 希土類を含有する再生ターゲット材とその再生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-360567   出願人：三菱マテリアル株式会社