特許

J-GLOBAL ID：200903026969094341

レーザー加工方法およびレーザー加工装置

発明者： 緑川 克美 ,  小糸 繁之 ,  西尾 國憲 ,  四方山 和彦
出願人/特許権者： 理化学研究所 ,  並木精密宝石株式会社 ,  ホーヤ・コンテニュアム株式会社
代理人 (1件)： 上島 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-202971
公開番号（公開出願番号）：特開2003-019587
出願日： 2001年07月04日
公開日（公表日）： 2003年01月21日
要約：

【要約】【課題】難加工透明材料などの各種の材料を加工する際に用いることのできる新規なレーザー加工方法およびレーザー加工装置を提供する。【解決手段】レーザー光を被加工物に対して相対的に走査させながら照射することにより該被加工物を加工するレーザー加工方法において、直線偏光のレーザー光の電場ベクトルの振動方向と被加工物に対するレーザー光の走査方向とが常に所定の角度を保持するようにして、該被加工物に対して該レーザー光を照射する。

請求項（抜粋）：

レーザー光を被加工物に対して相対的に走査させながら照射することにより該被加工物を加工するレーザー加工方法において、直線偏光のレーザー光の電場ベクトルの振動方向と被加工物に対するレーザー光の走査方向とが常に所定の角度を保持するようにして、該被加工物に対して該レーザー光を照射するレーザー加工方法。

IPC (3件)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/08 ,  G02B 27/28

FI (3件)：

B23K 26/06 E ,  B23K 26/08 B ,  G02B 27/28 Z

Fターム (7件)：

2H099AA17 ,  2H099CA08 ,  2H099DA00 ,  4E068CA03 ,  4E068CB10 ,  4E068CD06 ,  4E068CE03

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭61-262479
  
• 超精密加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-162265   出願人：三菱重工業株式会社
• 特開昭58-016786
  
• 特開昭61-262479
  
• 特開昭58-016786