特許
J-GLOBAL ID:200903026983820322
プラスチック容器内面へのバリヤ膜形成装置および内面バリヤ膜被覆プラスチック容器の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
, 風間 鉄也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-192228
公開番号(公開出願番号):特開2005-022727
出願日: 2003年07月04日
公開日(公表日): 2005年01月27日
要約:
【課題】プラスチック容器内面に膜質が良好で、均一厚さの炭素膜をコーティングすることが可能なプラスチック容器の内面への炭素膜形成装置を提供する。【解決手段】被処理物であるプラスチック容器が挿入された時にその容器を取り囲む大きさを有する外部電極と、前記容器の口部が位置する側の前記外部電極の端面に絶縁部材を介して取り付けられた排気管と、前記外部電極内の前記プラスチック容器内に前記排気管側から挿入され、接地側に接続される内部電極と、前記排気管に取り付けられた排気手段と、前記内部電極に媒質ガスを供給するためのガス供給手段と、前記外部電極に接続された高周波電源と、具備し、前記内部電極は、前記外部電極に挿入されるプラスチック容器の底部側に位置する側壁部分に前記媒質ガスをその内部電極の中心軸に対して略接線方向もしくは接線方向に吹き出すための複数のガス吹き出し孔が開口されていることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
被処理物であるプラスチック容器が挿入された時にその容器を取り囲む大きさを有する外部電極と、
前記容器の口部が位置する側の前記外部電極の端面に絶縁部材を介して取り付けられた排気管と、
前記外部電極内の前記プラスチック容器内に前記排気管側から挿入され、接地側に接続される内部電極と、
前記排気管に取り付けられた排気手段と、
前記内部電極に媒質ガスを供給するためのガス供給手段と、
前記外部電極に接続された高周波電源と、を具備し、
前記内部電極は、前記外部電極に挿入されるプラスチック容器の底部側に位置する側壁部分に前記媒質ガスをその内部電極の中心軸に対して略接線方向もしくは接線方向に吹き出すための複数のガス吹き出し孔が開口されていることを特徴とするプラスチック容器内面へのバリヤ膜形成装置。
IPC (3件):
B65D23/02
, C23C16/26
, C23C16/505
FI (3件):
B65D23/02 Z
, C23C16/26
, C23C16/505
Fターム (16件):
3E062AA09
, 3E062AB02
, 3E062AC02
, 3E062JA01
, 3E062JA07
, 3E062JB24
, 3E062JC04
, 3E062JD01
, 4K030AA09
, 4K030BA27
, 4K030CA07
, 4K030CA15
, 4K030EA04
, 4K030FA01
, 4K030KA30
, 4K030LA24
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (8件)
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