耐食性セラミック部材およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-371690
公開番号（公開出願番号）：特開2001-181042
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：

【要約】【課題】耐プラズマ性に優れるセラミック部材を提供する。【解決手段】イットリアを主成分とし、相対密度を95%以上として耐食性セラミック部材を構成する。

請求項（抜粋）：

イットリア(Y2O3)を主成分とし、相対密度が95%以上であることを特徴とする耐食性セラミック部材。

IPC (4件)：

C04B 35/50 , H01L 21/205 , H01L 21/3065 , H01L 21/31

FI (4件)：

C04B 35/50 , H01L 21/205 , H01L 21/31 C , H01L 21/302 B

Fターム (12件)：

5F004AA16 , 5F004BA16 , 5F004BB21 , 5F004BB28 , 5F004BB29 , 5F004DA00 , 5F045BB14 , 5F045EB03 , 5F045EB05 , 5F045EC05 , 5F045EF11 , 5F045EM09

引用特許：

審査官引用 (4件)

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