特許

J-GLOBAL ID：200903027004036213

クリーンルーム内への空気導入方法、クリーンルーム、局所設備内への空気導入方法、および局所設備

発明者： 小林 貞雄 ,  若山 恵英 ,  今福 正幸
出願人/特許権者： 大成建設株式会社
代理人 (1件)： 森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-200614
公開番号（公開出願番号）：特開平9-101051
出願日： 1996年07月30日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：

【要約】【課題】クリーンルーム内に無機物が発生しないようにすることのできる経済的な方法を提供する。【解決手段】クリーンルーム1の天井面の図1における右側部分に非ガラス系エアフィルター21Aを、左側部分にガラス系エアフィルター21Bを配置した。天井仕切り板4および床下仕切り板5により、クリーンルーム1への空気導入経路を、非ガラス系エアフィルター側エリア6Aとガラス系エアフィルター側エリア6Bとに分割した。非ガラス系エアフィルター21Aから吹き出す空気の速度V1 をガラス系エアフィルター21Bから吹き出す空気の速度V2 より大きくした。

請求項（抜粋）：

空気中の浮遊物質を捕集する乾式エアフィルターをクリーンルームの天井に設置し、当該乾式エアフィルターを通った空気をクリーンルーム内に導入するクリーンルーム内への空気導入方法において、前記乾式エアフィルターとして、濾材が非ガラス系繊維からなる非ガラス系エアフィルターおよび濾材がガラス繊維からなるガラス系エアフィルターを前記天井の所定位置にそれぞれ配置し、前記非ガラス系エアフィルターを通った空気をクリーンルーム内の所定部分に導入するとともに、クリーンルーム内への空気導入経路を、非ガラス系エアフィルター側エリアとガラス系エアフィルター側エリアとに分割して、ガラス系エアフィルター側エリアの空気が非ガラス系エアフィルター側エリアに入らないようにしたことを特徴とするクリーンルーム内への空気導入方法。

IPC (9件)：

F24F 7/06 ,  B01D 46/00 ,  B01D 46/52 ,  B01L 1/04 ,  E04B 1/70 ,  E04F 17/04 ,  F24F 3/044 ,  H01L 21/02 ,  E04H 5/02

FI (9件)：

F24F 7/06 C ,  B01D 46/00 F ,  B01D 46/52 Z ,  B01L 1/04 ,  E04B 1/70 B ,  E04F 17/04 A ,  F24F 3/044 ,  H01L 21/02 D ,  E04H 5/02 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 半導体製造用エアフイルタ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-086046   出願人：東京エレクトロン株式会社