パターン化ウェハまたは非パターン化ウェハおよびその他の検体の検査システム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：山川政樹 , 山川茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-515188
公開番号（公開出願番号）：特表2007-526444
出願日： 2004年06月04日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：

パターン化と非パターン化ウェハの検査システムを提供する。1つのシステムは、検体を照明するように構成された照明システムを含む。システムは、検体から散乱された光を集光するように構成された集光器をも含む。加えて、システムは、光の異なる部分に関する方位と極角情報が保存されるように、光の異なる部分を個別に検出するように構成されたセグメント化された検出器を含む。検出器は、光の異なる部分を表す信号を生成するように構成されていてもよい。システムは、信号から検体上の欠陥を検出するように構成されたプロセッサを含むこともできる。他の実施形態におけるシステムは、検体を回転・並進させるように構成されたステージを含むことができる。1つの当該実施形態におけるシステムは、検体の回転および並進時に、広い走査パスで検体を走査するように構成された照明システムを含むこともできる。

請求項（抜粋）：

検体を照明するように構成された照明システムと、前記検体から散乱された光を集光するように構成された集光器と、前記光の異なる部分に関する方位と極角情報が保存されるように、前記光の異なる部分を個別に検出するとともに、前記光の異なる部分を表す信号を生成するように構成されたセグメント化された検出器と、信号から前記検体上の欠陥を検出するように構成されたプロセッサとを備えた検査システム。

IPC (4件)：

G01N 21/956 , G01B 11/24 , H01L 21/66 , H01L 21/027

FI (5件)：

G01N21/956 A , G01B11/24 F , G01B11/24 K , H01L21/66 J , H01L21/30 502V

Fターム (75件)：

2F065AA49 , 2F065AA54 , 2F065BB02 , 2F065BB27 , 2F065CC03 , 2F065CC17 , 2F065CC20 , 2F065CC25 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065GG02 , 2F065GG03 , 2F065GG04 , 2F065GG05 , 2F065GG06 , 2F065GG22 , 2F065GG23 , 2F065GG24 , 2F065HH04 , 2F065HH09 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ09 , 2F065JJ17 , 2F065JJ26 , 2F065LL02 , 2F065LL04 , 2F065LL08 , 2F065LL09 , 2F065LL19 , 2F065LL21 , 2F065LL32 , 2F065LL35 , 2F065LL57 , 2F065LL59 , 2F065LL62 , 2F065LL65 , 2F065MM03 , 2F065MM04 , 2F065MM16 , 2F065PP12 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ31 , 2F065QQ42 , 2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AB02 , 2G051BB01 , 2G051BB05 , 2G051BB07 , 2G051BC05 , 2G051CA01 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051CB05 , 2G051CC17 , 2G051DA06 , 2G051DA08 , 4M106AA01 , 4M106BA04 , 4M106BA05 , 4M106BA07 , 4M106BA08 , 4M106CA39 , 4M106DB04 , 4M106DB07 , 4M106DB08 , 4M106DB14 , 4M106DJ11 , 4M106DJ20

引用特許：

審査官引用 (5件)

特許第6496256号
照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-103309 出願人：リンテック株式会社
反射体の特性を決定する装置及びその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-137514 出願人：ビック-ガルトナー・ゲーエムベーハー

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