特許

J-GLOBAL ID：200903027204938696

光学系診断装置

発明者： 奥平 恭之
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-144384
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337996
出願日： 1999年05月25日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】 レーザ光を発生するレーザ光源とレーザ光源の後段に配置された光学機器とを備える光学系の劣化状況を容易に診断する。【解決手段】 受光センサー13aはレーザ光源11及び光学機器12の出力側を計測位置としてレーザ光のエネルギー値及びエネルギー分布を計測データとして計測する。PC13bには予め計測位置毎にレーザ光のエネルギー値及びエネルギー分布が診断パラメータとして登録されており、光学系を診断する際、測定位置毎に診断パラメータと計測データとに基づいて光学系の不良部位を判定する。

請求項（抜粋）：

レーザ光を発生するレーザ光源と前記レーザ光源の後段に配置された光学機器とを備える光学系の劣化状況を診断する際に用いられる光学系診断装置において、前記レーザ光源及び前記光学機器の出力側を計測位置として前記レーザ光のエネルギー値及びエネルギー分布を計測データとして計測する計測手段と、予め前記計測位置毎に前記レーザ光のエネルギー値及びエネルギー分布を診断パラメータとして登録して前記光学系を診断する際測定位置毎に前記診断パラメータと前記計測データとに基づいて前記光学系の不良部位を判定する判定手段とを有することを特徴とする光学系診断装置。

IPC (3件)：

G01M 11/00 ,  B23K 26/00 ,  G01J 1/42

FI (3件)：

G01M 11/00 T ,  B23K 26/00 Q ,  G01J 1/42 D

Fターム (10件)：

2G065AA04 ,  2G065AB09 ,  2G065BC14 ,  2G065BC33 ,  2G065BC35 ,  2G086EE12 ,  4E068CA18 ,  4E068CB08 ,  4E068CC01 ,  4E068CD08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• レーザ加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-139408   出願人：株式会社ニコン
• 特開平3-234385
  
• 特開平3-234385