電気容量式湿度検知素子及び電気容量式湿度検知素子の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 寺崎史朗 , 阿部豊隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-381758
公開番号（公開出願番号）：特開2004-177405
出願日： 2003年11月11日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【課題】比較的低温、短時間で感湿膜を成形することができ、量産性に優れた電気容量式湿度検知素子及び電気容量式湿度検知素子の製造方法を提供する。【解決手段】この電気容量式湿度検知素子は、基板1と、第1の電極層2と第2の電極層4を備えた感湿膜3とを含み、感湿膜3は、ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンとを重合したポリイミドを主成分とする。ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物としては、例えば3,3’,4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物を用いることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、少なくとも2つの電極層を備えた感湿膜と、を含み、前記感湿膜は、ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンとを重合したポリイミドを主成分とすることを特徴とする電気容量式湿度検知素子。

IPC (1件)：

G01N27/22

FI (1件)：

G01N27/22 A

Fターム (7件)：

2G060AA01 , 2G060AB02 , 2G060AF10 , 2G060AG06 , 2G060AG08 , 2G060BB10 , 2G060JA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平4-250352号公報
湿度検知素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-315941 出願人：株式会社クラベ

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