アルカリ可溶型レジスト用組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小田島平吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-163503
公開番号（公開出願番号）：特開平10-069081
出願日： 1988年05月17日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】耐熱性、耐薬品性に優れたレジスト膜を与えるアルカリ可溶型レジスト用組成物を提供すること。【解決手段】酸基含有アクリル系樹脂と脂環式エポキシ基含有不飽和化合物との反応物、有機溶剤及び/又は重合性ビニルモノマー、光重合開始剤、及び必要に応じて色素を含んでなるアルカリ可溶型レジスト用組成物。

請求項（抜粋）：

酸基含有アクリル系樹脂と脂環式エポキシ基含有不飽和化合物との反応物、有機溶剤及び/又は重合性ビニルモノマー、光重合開始剤、及び必要に応じて色素を含んでなるアルカリ可溶型レジスト用組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 503 , C08F290/12 , G03F 7/027 515 , H05K 3/00 , C08F 8/14

FI (5件)：

G03F 7/038 503 , C08F290/12 , G03F 7/027 515 , H05K 3/00 F , C08F 8/14

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭50-010887
特開昭63-035609
特開平1-289820

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