特許

J-GLOBAL ID：200903027240138590

物品用バリヤ層及び膨張性熱プラズマによるバリヤ層の形成方法

発明者： マーク・スハープケンス
出願人/特許権者： ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
代理人 (3件)： 松本 研一 ,  小倉 博 ,  伊藤 信和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-144218
公開番号（公開出願番号）：特開2004-160977
出願日： 2003年05月22日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】水分及び酸素の透過に対する抵抗性に優れたバリヤ層に関する。【解決手段】物品100は基材102にバリヤ層105,106を設けてなる。バリヤ層は基材の表面上に設けられ、水分及び酸素の透過抵抗性である。かかるバリヤ層を基材上に堆積する方法も開示される。物品は追加の層、例えば接着層104、耐摩耗性層、放射線吸収層、放射線反射層、導電層などを含んでもよい。このような物品としては、発光ダイオード(LED)、液晶ディスプレイ(LCD)、光起電力物品、エレクトロクロミック物品及び有機EL素子(OELD)などがある。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

(a)基材と(b)基材の少なくとも一面に設けられた1以上のバリヤ層とを備えてなる物品であって、 バリヤ層は無機材料を含有し、またバリヤ層は水分及び酸素の透過抵抗性であり、25°C、相対湿度100%での水蒸気透過率(WVTR)が約2g/m2日未満であり、25°C、酸素濃度100%での酸素透過率(OTR)が約2cc/m2日未満である、物品。

IPC (10件)：

B32B9/00 ,  B32B7/02 ,  C08J7/04 ,  C23C16/32 ,  C23C16/34 ,  C23C16/40 ,  G02F1/1333 ,  H01L33/00 ,  H05B33/04 ,  H05B33/14

FI (11件)：

B32B9/00 A ,  B32B7/02 ,  C08J7/04 P ,  C23C16/32 ,  C23C16/34 ,  C23C16/40 ,  G02F1/1333 500 ,  G02F1/1333 505 ,  H01L33/00 N ,  H05B33/04 ,  H05B33/14 A

Fターム (109件)：

2H090HA04 ,  2H090HA08 ,  2H090HB02X ,  2H090HB17X ,  2H090HC03 ,  2H090HC09 ,  2H090HC18 ,  2H090HD05 ,  2H090HD06 ,  2H090HD08 ,  2H090JA07 ,  2H090JB02 ,  2H090JB03 ,  2H090JC07 ,  2H090JD02 ,  2H090JD03 ,  2H090JD11 ,  2H090JD12 ,  2H090JD13 ,  3K007AB11 ,  3K007AB12 ,  3K007AB13 ,  3K007BB01 ,  3K007CA00 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  3K007FA02 ,  4F006AA22 ,  4F006AA35 ,  4F006AA36 ,  4F006AA39 ,  4F006AA40 ,  4F006AB73 ,  4F006AB76 ,  4F006BA05 ,  4F006CA08 ,  4F006DA01 ,  4F100AA01B ,  4F100AA12B ,  4F100AA15B ,  4F100AA17B ,  4F100AA18C ,  4F100AA20C ,  4F100AA27C ,  4F100AA31C ,  4F100AA37C ,  4F100AB01C ,  4F100AB03A ,  4F100AB10A ,  4F100AB10C ,  4F100AB11A ,  4F100AB11C ,  4F100AB12C ,  4F100AB13C ,  4F100AB18C ,  4F100AB19C ,  4F100AB20C ,  4F100AB21C ,  4F100AB24C ,  4F100AG00A ,  4F100AG00C ,  4F100AH02C ,  4F100AK01A ,  4F100AK25A ,  4F100AK25C ,  4F100AK27C ,  4F100AK42A ,  4F100AK45A ,  4F100AK49A ,  4F100AK52C ,  4F100AK53C ,  4F100AK54A ,  4F100AK55A ,  4F100AK80A ,  4F100AR00B ,  4F100AT00A ,  4F100AT00C ,  4F100BA03 ,  4F100BA04 ,  4F100BA05 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10B ,  4F100BA10C ,  4F100CB00C ,  4F100DG01A ,  4F100EJ60 ,  4F100EJ61 ,  4F100GB41 ,  4F100JD03B ,  4F100JD04B ,  4F100JD09C ,  4F100JD10C ,  4F100JG01C ,  4F100JK09C ,  4F100YY00B ,  4K030AA06 ,  4K030AA13 ,  4K030BA36 ,  4K030BA38 ,  4K030BA40 ,  4K030BA42 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030FA01 ,  4K030JA01 ,  4K030LA18 ,  5F041AA34 ,  5F041AA43 ,  5F041DA61

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 高速アークプラズマ成膜による保護皮膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-179480   出願人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ