特許
J-GLOBAL ID：200903027260499352
熱アクチュエータを備えたマイクロデバイス
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-380702
公開番号（公開出願番号）：特開2002-264090
出願日： 2001年12月13日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：
【要約】【課題】 比較的小さい熱交換でもって迅速にトリガーできるマイクロデバイスの提供。【解決手段】 マイクロデバイスであって、第1高さレベルに配置されるとともに、熱アクチュエータによってトリガーされる変形可能部材(11)によって支持された、導体(13)と;第2高さレベルに配置された導体(4,5)と;を具備し、トリガーによって、導体(13)と導体(4,5)との間の距離が変更されるようになっており、熱アクチュエータが、変形可能部材(11)に対して局所位置において当接する電気抵抗(14,15)から構成されている。
請求項（抜粋）：
マイクロデバイスであって、第1高さレベルに配置されるとともに、バイメタル効果型アクチュエータによってトリガーされる変形可能部材(11)によって支持された、導体(13)と;第2高さレベルに配置された導体(4,5)と;を具備し、前記トリガーによって、前記第1高さレベルの前記導体(13)と前記第2高さレベルの前記導体(4,5)との間の距離が変更されるようになっており、この場合において、前記バイメタル効果型アクチュエータが、前記変形可能部材(11)に対して局所位置において当接する電気抵抗(14,15)からなり、前記電気抵抗(14,15)は、これら電気抵抗(14,15)に制御電流が流されたときには、この制御電流の流通によって生成される熱の効果によって十分に膨張することができ、これにより、バイメタル効果によって、前記電気抵抗(14,15)内に生成された熱が前記変形可能部材(11)の中を伝搬し終わるよりも前に、前記変形可能部材(11)をトリガーすることができるようになっていることを特徴とするマイクロデバイス。
IPC (6件)：
B81B 3/00
, F03G 7/06
, H01H 1/04
, H01H 37/52
, H01H 59/00
, H01H 61/01
B81B 3/00
, F03G 7/06 Z
, H01H 1/04 A
, H01H 37/52 A
, H01H 37/52 F
, H01H 59/00
, H01H 61/01 C
5G041AA03
, 5G041AA13
, 5G041BB06
, 5G041CA13
, 5G041CC01
, 5G050AA02
, 5G050AA03
, 5G050AA24
, 5G050AA29
, 5G050AA33
, 5G050AA36
, 5G050BA03
, 5G050DA10
, 5G050EA09
, 5G050FA01
