特許

J-GLOBAL ID：200903027272174831

センシング部を有する半導体装置

発明者： 鈴木 康利
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-340867
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153708
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 体格の増大を抑えつつ、センシング部を測定環境にさらし、回路部をさらさないようにすることのできる半導体装置を提供する。【解決手段】 それ自身の温度変化に基づく信号を出力するセンシング部10と、このセンシング部10からの出力信号を処理する回路部20とを備える半導体装置において、センシング媒体が存在する測定環境空間Aとそれ以外の実装空間Bとを仕切る仕切部材30を備え、センシング部10と回路部20とを積層して積層体を構成し、該積層体を、測定環境空間A側にセンシング部10が位置し、実装空間B側に回路部20が位置するように仕切部材30に支持する。

請求項（抜粋）：

それ自身の温度変化に基づく信号を出力するセンシング部(10)と、このセンシング部からの出力信号を処理する回路部(20)とを備える半導体装置において、センシング媒体の存在する第1の空間とそれ以外の第2の空間とを仕切る仕切部材(30)を備え、前記センシング部と前記回路部とは積層されて積層体を構成しており、この積層体は、前記第1の空間側に前記センシング部が位置し、前記第2の空間側に前記回路部が位置するように前記仕切部材に支持されていることを特徴とするセンシング部を有する半導体装置。

IPC (4件)：

G01F 1/68 ,  G01J 1/42 ,  G01J 5/12 ,  G01P 5/12

FI (4件)：

G01F 1/68 ,  G01J 1/42 B ,  G01J 5/12 ,  G01P 5/12 C

Fターム (9件)：

2F035EA08 ,  2G065AA20 ,  2G065BA02 ,  2G065BA38 ,  2G065CA30 ,  2G066BA05 ,  2G066BA51 ,  2G066BA55 ,  2G066CA11

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-017323   出願人：山武ハネウエル株式会社
• フルイディック型ガス流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-219205   出願人：リコーエレメックス株式会社
• フルイディック型ガス流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-161899   出願人：リコーエレメックス株式会社