特許

J-GLOBAL ID：200903027299047165

窒化アルミニウムおよび半導体製造用装置

発明者： 小林 廣道 ,  別所 裕樹 ,  森 行正
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-218257
公開番号（公開出願番号）：特開平9-048669
出願日： 1995年08月04日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【課題】窒化アルミニウムに黒色化剤のような金属化合物、特に重金属化合物を添加することなく、窒化アルミニウムの明度を小さくし、その色を黒色に近づけることである。【解決手段】窒化アルミニウムのレーザーラマン分光測定スペクトルにおいて、133cm-1のピークの高さI(133)と、680cm-1のピークの高さI(680)の比率I(133)/I(680)が0.3以上である。好ましくは、I(133)/I(680)が0.4以上であり、JIS Z 8721に規定する明度が4以下であり、AlNからなる主結晶相と、ALONからなる副結晶相とを備えており、相対密度が92%以上である。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムのレーザーラマン分光測定スペクトルにおいて、133cm-1のピークの高さI(133)と、680cm-1のピークの高さI(680)の比率I(133)/I(680)が0.3以上であることを特徴とする、窒化アルミニウム。

IPC (3件)：

C04B 35/581 ,  C01B 21/072 ,  H01L 21/324

FI (4件)：

C04B 35/58 104 Z ,  C01B 21/072 B ,  H01L 21/324 H ,  H01L 21/324 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-310571
  
• 窒化アルミニウム焼結体およびその製法、並びにそれを用いた焼成用治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-107101   出願人：京セラ株式会社