特許
J-GLOBAL ID：200903027302100692
レーザ加工方法およびレーザ加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-356253
公開番号（公開出願番号）：特開2005-118815
出願日： 2003年10月16日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：
【課題】 レーザ源の出力や出射角度が変化しても加工品質を優れたものに維持することが可能なレーザ加工方法およびレーザ加工装置を提供すること。【解決手段】 レーザ源2から出力されるレーザ光21の出射角度を検出するため、マスク11、ビームスプリッタ12、集光レンズ14、15および位置検出センサ17、18からなる出射角度検出手段と、ビーム角度補正部3とビームシフト補正手段4とからなるレーザ光の光軸補正手段とを設ける。加工時、レーザ源2から出力されるレーザ光21の出射角度を監視し、出射角度が変化した場合は、レーザ光21の光軸を変化する前の光軸に合わせて加工をする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レーザ発振器から出力されるレーザ光の出射角度を監視し、前記出射角度が変化した場合は、前記レーザ光の光軸を変化する前の光軸に合わせて加工をすることを特徴とするレーザ加工方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
4E068AF01
, 4E068CA06
, 4E068CA09
, 4E068CC01
, 4E068CC06
, 4E068CD08
, 4E068DA11
