特許

J-GLOBAL ID：200903027326520390

感光性フィルム及びその製造方法、並びに永久パターン形成方法

発明者： 神川 弘
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (3件)： 廣田 浩一 ,  流 良広 ,  松田 奈緒子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-191748
公開番号（公開出願番号）：特開2007-047771
出願日： 2006年07月12日
公開日（公表日）： 2007年02月22日
要約：

【課題】感光層中に適正な量の有機溶媒を含有し、表面のタック性が小さく、ラミネート性及び取扱い性が良好で、基板への追従性に優れた感光性フィルム及びその製造方法、並びに該感光性フィルムを用いた永久パターン形成方法の提供。【解決手段】支持体と、該支持体上に、バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、熱架橋剤、及び有機溶媒を含む感光性組成物からなる感光層を有してなり、前記感光層における前記有機溶媒の含有量が0.01〜3質量%である感光性フィルム及びその製造方法、並びに該感光性フィルムを用いた永久パターン形成方法である。前記有機溶媒が、沸点の異なる少なくとも2種以上の有機溶媒である態様等が好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持体と、該支持体上に、バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、熱架橋剤、及び有機溶媒を含む感光性組成物からなる感光層を有してなり、 前記感光層における前記有機溶媒の合計含有量が0.01〜3質量%であることを特徴とする感光性フィルム。

IPC (5件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/28 ,  H05K 3/46

FI (7件)：

G03F7/004 512 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/038 501 ,  G03F7/027 515 ,  H05K3/28 D ,  H05K3/28 F ,  H05K3/46 T

Fターム (31件)：

2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC53 ,  2H025BC74 ,  2H025BC84 ,  2H025BJ10 ,  2H025CA01 ,  2H025CA14 ,  2H025CA18 ,  2H025CA28 ,  2H025CA31 ,  2H025CA48 ,  2H025CC03 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  5E314AA27 ,  5E314AA32 ,  5E314CC15 ,  5E314DD07 ,  5E314GG26 ,  5E346AA12 ,  5E346AA32 ,  5E346CC09 ,  5E346DD02 ,  5E346EE35 ,  5E346HH40

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 感光性エレメント及びその製造方法、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-381307   出願人：日立化成工業株式会社