液晶表示装置およびその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-304967
公開番号（公開出願番号）：特開2001-125135
出願日： 1999年10月27日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】ガラス基板上に形成される駆動回路内蔵型TFT-LCDにおいてTFTの半導体パターンの側面の寄生チャネルがない高信頼TFTを低コストで実現する。【解決手段】素子間分離を低温のプラズマ酸化を使用し、TFTの半導体パターンの側面の寄生チャネルがないように、ゲート絶縁膜と半導体パターンの側面が接触しない構造とする。【効果】半導体パターンの側面がゲート絶縁膜が接触しないので、側面の寄生チャネルが形成されない。また、半導体パターン端部の段差がなくなるので段差被覆性に劣るが、緻密で高品質な絶縁膜をゲート酸化膜として用いることができるようになるので、信頼性が向上する。

請求項（抜粋）：

少なくとも一方が透明な一対の基板と、この基板に挟持された液晶層を有する液晶表示装置であって、前記一対の基板の一方の基板の主表面上に形成された複数の半導体薄膜パターンおよび第1の絶縁層と、前記複数の半導体膜の少なくとも一部にゲート絶縁膜を介して相対する第1の電極と、前記半導体膜の一部に形成された第1導電型または第2導電型を有する一対の半導体層と、前記一対の半導体層に接触するように形成された第2、および第3の電極とを有し、前記複数の半導体膜の側面部は前記ゲート絶縁膜と異なる絶縁膜に覆われたことを特徴とする液晶表示装置。

IPC (3件)：

G02F 1/1365 , G02F 1/1333 505 , H01L 29/786

FI (3件)：

G02F 1/1333 505 , G02F 1/136 500 , H01L 29/78 621

Fターム (81件)：

2H090HA05 , 2H090HB03X , 2H090HC03 , 2H090HC10 , 2H090HC13 , 2H090HC15 , 2H090HC17 , 2H090HC18 , 2H090HC19 , 2H090HD03 , 2H090JB02 , 2H090JC07 , 2H090JD09 , 2H090JD14 , 2H090KA05 , 2H090LA04 , 2H092GA59 , 2H092JA25 , 2H092JA29 , 2H092JA38 , 2H092JA42 , 2H092JA44 , 2H092JB13 , 2H092JB23 , 2H092JB32 , 2H092JB33 , 2H092JB38 , 2H092JB57 , 2H092JB63 , 2H092JB69 , 2H092MA08 , 2H092MA14 , 2H092MA15 , 2H092MA16 , 2H092MA18 , 2H092MA19 , 2H092MA20 , 2H092MA27 , 2H092MA35 , 2H092MA37 , 2H092MA41 , 2H092NA22 , 2H092NA23 , 2H092NA25 , 2H092NA27 , 2H092PA06 , 5F110AA30 , 5F110BB01 , 5F110BB04 , 5F110CC02 , 5F110DD02 , 5F110DD13 , 5F110EE02 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG43 , 5F110GG45 , 5F110GG47 , 5F110HJ01 , 5F110HJ04 , 5F110HJ13 , 5F110HJ22 , 5F110HJ23 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HL07 , 5F110HL12 , 5F110HL23 , 5F110HM15 , 5F110NN01 , 5F110NN02 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110NN41 , 5F110NN62 , 5F110PP03

引用特許：

審査官引用 (1件)

液晶表示装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-010753 出願人：株式会社東芝

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