特許

J-GLOBAL ID：200903027396841674

弾性表面波装置、ラダー型フィルタ、及び共振子型フィルタ

発明者： 三村 昌和 ,  中尾 武志
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 宮▲崎▼主税
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-048508
公開番号（公開出願番号）：特開2005-244359
出願日： 2004年02月24日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】 複数の電極層を積層した電極層積層部の形成により電気的抵抗が低められており、かつ絶縁膜の形成により周波数温度特性が改善されている弾性表面波装置において、絶縁膜表面の段差によるインピーダンス比の劣化及び挿入損失の劣化を抑制する構造が備えられた弾性表面波装置を提供する。 【解決手段】 圧電基板2上に複数本の電極指4,6と、バスバー5,7とを有するIDT電極3と、IDT電極3を覆うように形成された絶縁膜8とを有し、バスバーにおいて、複数の電極層が積層されている電極層積層部5A,7Aが設けられている構造において、電極層積層部5A,7Aの電極指側端部と、バスバー5,7の電極指側端部との間の距離αが、IDT電極3の波長をλとしたときに、1.05λ〜2.6λの範囲とされている、弾性表面波装置。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

圧電基板と、前記圧電基板上に形成されており、複数本の電極指と、複数本の電極指に連ねられたバスバーとを有するIDT電極と、前記IDT電極を覆うように形成された絶縁膜とを備え、前記バスバーにおいて、複数の電極層が積層されている電極層積層部が設けられている弾性表面波装置において、 前記バスバーの電極層積層部の電極指側端部と、該バスバーの前記電極指側端部との間の距離をαとし、前記IDT電極の波長をλとしたときに、αが1.05λ〜2.6λの範囲とされていることを特徴とする、弾性表面波装置。

IPC (1件)：

H03H9/145

FI (2件)：

H03H9/145 D ,  H03H9/145 C

Fターム (6件)：

5J097AA01 ,  5J097BB02 ,  5J097CC02 ,  5J097DD22 ,  5J097DD29 ,  5J097KK09

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 弾性表面波装置の製造方法及び弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-034983   出願人：株式会社村田製作所