特許
J-GLOBAL ID:200903027436211237
樹脂層付アクティブマトリクス基板の製造方法及び液晶素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-101457
公開番号(公開出願番号):特開2001-281700
出願日: 2000年04月03日
公開日(公表日): 2001年10月10日
要約:
【要約】【課題】 樹脂層が形成されたアクティブマトリクス基板のコンタクトホールの接続不良を低減すること。【解決手段】 アクティブマトリクス基板上に感光性樹脂層を形成する工程と、該感光性樹脂層をパターン露光する工程と、該感光性樹脂層を現像し該樹脂層にコンタクト部を形成する工程と、を有する樹脂層付アクティブマトリクス基板の製造方法であって、該感光性樹脂層に含有されるモノマー重量(M)/該感光性樹脂層に含有されるバインダー重量(B)=0.85〜1.3であり、かつ該感光性樹脂層に含有される光重合開始剤重量(K)/該感光性樹脂層に含有されるモノマー重量(M)=0.04〜0.18であることを特徴とする樹脂層付アクティブマトリクス基板の製造方法である。
請求項(抜粋):
アクティブマトリクス基板上に感光性樹脂層を形成する工程と、該感光性樹脂層をパターン露光する工程と、該感光性樹脂層を現像し該樹脂層にコンタクト部を形成する工程と、を有する樹脂層付アクティブマトリクス基板の製造方法であって、該感光性樹脂層に含有されるモノマー重量(M)/該感光性樹脂層に含有されるバインダー重量(B)=0.85〜1.3であり、かつ該感光性樹脂層に含有される光重合開始剤重量(K)/該感光性樹脂層に含有されるモノマー重量(M)=0.04〜0.18であることを特徴とする樹脂層付アクティブマトリクス基板の製造方法。
IPC (4件):
G02F 1/1368
, G02F 1/1333 505
, G09F 9/30 338
, G03F 7/004 511
FI (4件):
G02F 1/1333 505
, G09F 9/30 338
, G03F 7/004 511
, G02F 1/136 500
Fターム (47件):
2H025AB17
, 2H025AB20
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC81
, 2H025BJ10
, 2H025FA48
, 2H090HB17X
, 2H090HC12
, 2H090HC13
, 2H090HD05
, 2H090JA05
, 2H090JB03
, 2H090LA04
, 2H090LA15
, 2H092JA24
, 2H092JA46
, 2H092JB22
, 2H092JB31
, 2H092JB58
, 2H092KB25
, 2H092KB26
, 2H092MA02
, 2H092NA15
, 2H092NA29
, 2H092PA08
, 5C094AA02
, 5C094AA21
, 5C094BA03
, 5C094BA43
, 5C094CA19
, 5C094CA24
, 5C094DA14
, 5C094DA15
, 5C094EA04
, 5C094EA05
, 5C094EA07
, 5C094EB02
, 5C094ED03
, 5C094FB12
, 5C094FB15
, 5C094GB10
, 5C094HA02
, 5C094HA06
, 5C094HA07
, 5C094HA08
, 5C094HA10
引用特許:
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