特許

J-GLOBAL ID：200903027439719762

音叉型水晶振動子

発明者： ▲高▼木 道明 ,  菊島 正幸 ,  小倉 誠一郎
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-001220
公開番号（公開出願番号）：特開2005-197946
出願日： 2004年01月06日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：

【課題】 32kHz音叉型水晶振動子において、従来の周波数温度特性の2次温度係数βを-3.4×10-8/°C2から-1.6×10-8/°C2以下に小さく低減した音叉型水晶振動子を提供する。【解決手段】 右水晶結晶の電気軸Xと機械軸Yの張る面を主面とする水晶Zカット平板を電気軸回りに反時計方向に0度から8度回転した水晶平板から、幅方向を電気軸方向のXとし、音叉の腕部の長手方向をY’とする音叉型形状を有する水晶振動子を形成し、かつ前記の腕部の表裏主面に溝入れ加工を施した音叉型水晶振動子において、前記音叉型水晶振動子は、腕部の変位が電気軸方向Xであり、かつ動作周波数がf0である振動モードAと、腕部の変位が前記の主面に垂直なZであり、かつ動作周波数f1がf0より大きく異なる振動モードBが存在しており、前記2個の振動モードAとBは、腕部において発生する非線形なパラメトリック振動現象により結合して、振動モードAが有する本来の周波数-温度特性曲線の2次温度係数βを軽減して補償し、平坦な周波数温度特性を実現したことを特徴とする音叉型水晶振動子。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

右水晶結晶の電気軸Xと機械軸Yの張る面を主面とする水晶Zカット平板を電気軸回りに反時計方向に0度から8度回転した水晶平板から、幅方向を電気軸方向のXとし、音叉の腕部の長手方向をY’とする音叉型形状を有する水晶振動子を形成し、かつ前記の腕部の表裏主面に溝入れ加工を施した音叉型水晶振動子において、 前記音叉型水晶振動子は、腕部の変位が電気軸方向Xであり、かつ動作周波数がf0である振動モードAと、腕部の変位が前記の主面に垂直なZであり、かつ動作周波数f1がf0より大きく異なる振動モードBが存在しており、 前記2個の振動モードAとBは、腕部形成した結合部材を介して発生する非線形なパラメトリック振動現象により結合して、振動モードAが有する本来の周波数-温度特性曲線の2次温度係数βを軽減して補償し、平坦な周波数温度特性を実現したことを特徴とする音叉型水晶振動子。

IPC (5件)：

H03H9/19 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H03H9/02 ,  H03H9/215

FI (7件)：

H03H9/19 J ,  H03H9/19 K ,  H03H9/19 L ,  H03H9/02 N ,  H03H9/215 ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101A

Fターム (12件)：

5J108AA04 ,  5J108BB02 ,  5J108BB03 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108DD05 ,  5J108DD07 ,  5J108FF01 ,  5J108FF05 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108KK07

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 温度検出用水晶振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-230203   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 特開平12-844092公報
  
• 特開昭59-151516公報