特許

J-GLOBAL ID：200903027462864010

基板の検査方法及び検査装置

発明者： 佐藤 紀勝
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金本 哲男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-350143
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168010
出願日： 1999年12月09日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 所定の処理後のウェハを検査する際に必要となるスペースを従来よりも減少させる。【解決手段】 固定されたCCDカメラ70の下方に,回転自在であると共にX,Y方向に移動自在であるウェハWの載置台を有する検査装置を用いる。先ず,所定の位置に載置されたウェハWをX軸正方向に移動させながら,ウェハW表面を撮影し,ウェハWの直径分だけ移動させたところで停止する。そして,Y方向に検査エリアS分だけ移動して,停止し,今度はX軸負方向に移動して撮影する。以上の工程を繰り返して,ウェハW上面の半分を撮影したところで,ウェハWを180度回転させて,撮影済みのエリアと未撮影のエリアを入れ替える。そして,前行程の経路を逆にたどり,同様にして,ウェハWの全上面を検査する。

請求項（抜粋）：

基板と検査部とが相対的に移動し,前記基板表面を走査する基板の検査方法であって,前記基板表面の少なくとも半分の領域を前記検査部により走査する工程と,前記基板を前記基板の中心軸周りに180度回転させる工程と,前記工程で走査されていない前記基板の残りの領域を前記検査部により走査する工程とを有することを特徴とする,基板の検査方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G01N 21/956

FI (3件)：

G01B 11/00 H ,  G01N 21/956 A ,  H01L 21/30 570

Fターム (28件)：

2F065AA49 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD02 ,  2F065FF04 ,  2F065GG08 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065MM28 ,  2F065NN02 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065TT01 ,  2F065TT02 ,  2G051AA51 ,  2G051AB20 ,  2G051AC01 ,  2G051BC02 ,  2G051CA04 ,  2G051CD03 ,  2G051DA01 ,  2G051DA08 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046LA18 ,  5F046LA19

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭61-008923
  
• 異物検出用の最適閾値決定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-228833   出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
• 特開昭62-102522
  
• 特開昭61-008923
  
• 特開昭62-102522