特許
J-GLOBAL ID:200903027471998703

超音波洗浄装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 萩原 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-188140
公開番号(公開出願番号):特開2006-007104
出願日: 2004年06月25日
公開日(公表日): 2006年01月12日
要約:
【課題】薄板状またはシート状の被洗浄物の洗浄でも槽両側の振動子により定在波を発生させる調節ができ、洗浄液を励起して均一な洗浄が可能な超音波洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄液を貯留した超音波洗浄槽10内側の両側面にお互い平行に対向する一対の振動子12を備えてこの振動子12の間に被洗浄物1を設置して超音波洗浄する超音波洗浄装置であって、超音波洗浄槽10内に延在して振動子12が対向する間を遮断するとともに内部に密閉した中空部14aを備えて両側面を薄板状の隔壁14bにより形成することでこの中空部14aを介した隔壁14bが振動子12による両側からの超音波を各々外側に反射して干渉を防止する反射板14を備え、この反射板14から両側の振動子12までの距離Lをλ/4+1/2*nにして定在波を発生させ、この定在波が発生した反射板14の両側で薄板状またはシート状の被洗浄物を洗浄する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
洗浄液を貯留した超音波洗浄槽の内側または外側いずれかの両側面にお互い平行に対向する一対の振動子を備えて該振動子の間に被洗浄物を設置して超音波洗浄する超音波洗浄装置において、 前記超音波洗浄槽内に延在して前記振動子が対向する間を遮断するとともに内部に密閉した中空部を備えて両側面を薄板状の隔壁により形成することで該中空部を介した前記隔壁が前記振動子による両側からの同じ波長または異なる波長の超音波を各々外側に反射して干渉を防止する反射板を備え、この反射板から両側の前記振動子までの距離Lをλ/4+1/2*n(λ:波長、n:任意の整数)にして定在波を発生させ、この定在波が発生した前記反射板の両側で薄板状またはシート状の被洗浄物を洗浄することを特徴とする超音波洗浄装置。
IPC (2件):
B08B 3/12 ,  B06B 1/02
FI (2件):
B08B3/12 A ,  B06B1/02 Z
Fターム (9件):
3B201AA08 ,  3B201AB01 ,  3B201BB02 ,  3B201BB85 ,  3B201BB86 ,  3B201BB92 ,  5D107BB11 ,  5D107CC00 ,  5D107FF09
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 超音波洗浄装置および方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-112560   出願人:株式会社日立製作所, 日立超エル・エス・アイ・エンジニアリング株式会社, 日立東京エレクトロニクス株式会社
  • 実開昭56-20684号公報
審査官引用 (4件)
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