特許

J-GLOBAL ID：200903027515278240

アクチュエータ、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

発明者： ▲高▼部 本規 ,  亀井 宏行
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 栗原 浩之 ,  村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-177763
公開番号（公開出願番号）：特開2009-016625
出願日： 2007年07月05日
公開日（公表日）： 2009年01月22日
要約：

【課題】圧電体層にクラックが発生するのを比較的容易且つ確実に防止することができ、変位特性を良好に維持することができるアクチュエータ、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】基板上に設けられた振動板50,55と、振動板50,55上に設けられた下電極60、下電極60上に設けられた圧電体層70及び圧電体層70上に設けられた上電極80を有する圧電素子300とを具備し、圧電素子300の下電極60と上電極80との間に、圧電体層70よりも誘電率の低い材料からなる所定幅の低誘電体層75を、圧電素子300の長手方向に沿って所定間隔で複数設けるようにする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板上に設けられた振動板と、該振動板上に設けられた下電極、該下電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層上に設けられた上電極を有する圧電素子とを具備し、 前記圧電素子の前記下電極と前記上電極との間には、前記圧電体層よりも誘電率の低い材料からなる所定幅の低誘電体層が、前記圧電素子の長手方向に沿って所定間隔で複数設けられていることを特徴とするアクチュエータ。

IPC (7件)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24

FI (7件)：

H01L41/08 C ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A

Fターム (6件)：

2C057AF65 ,  2C057AG37 ,  2C057AG44 ,  2C057AP14 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 圧電体素子、及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-015126   出願人：セイコーエプソン株式会社