特許
J-GLOBAL ID:200903027518851960
半導体装置及び液晶表示装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山下 穣平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-031165
公開番号(公開出願番号):特開平6-222391
出願日: 1993年01月28日
公開日(公表日): 1994年08月12日
要約:
【要約】【目的】 単結晶素子相当の性能が求められる素子と光透過性基板に作製することが求められる素子とを、同一基体上に簡易な工程で作製する。【構成】 半導体単結晶基体の一方の主面側に形成された透光性膜2直下の半導体単結晶領域を他方の主面から除去して作製された基体1と、前記透光性膜2上に形成された非単結晶半導体素子4と、前記基体1の残された半導体単結晶領域に形成された単結晶半導体素子3とを備え、前記非単結晶半導体素子4と前記単結晶半導体素子3とが電気的に接続されている。
請求項(抜粋):
半導体単結晶基体の一方の主面側に形成された透光性膜直下の半導体単結晶領域を他方の主面から除去して作製された基体と、前記透光性膜上に形成された非単結晶半導体素子と、前記基体の残された半導体単結晶領域に形成された単結晶半導体素子とを備え、前記非単結晶半導体素子と前記単結晶半導体素子とが電気的に接続されている半導体装置。
IPC (4件):
G02F 1/136 500
, G02F 1/133 550
, H01L 27/12
, H01L 29/784
引用特許:
審査官引用 (9件)
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特開平4-299317
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特開平2-198428
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特開平4-133033
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特開昭52-117083
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特開平4-350627
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光弁用半導体装置とその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-220504
出願人:セイコー電子工業株式会社
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特開昭52-120764
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特開平2-090537
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特開昭63-121026
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