特許

J-GLOBAL ID：200903027528670157

放射線検出装置、及びその製造方法

発明者： 長野 和美
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 山下 穣平 ,  志村 博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-105574
公開番号（公開出願番号）：特開2004-325442
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

【課題】 蛍光体層の密着不良による剥がれを防止し、かつ、蒸着によって均一で精度の高い柱状蛍光体の層を形成し、均一な光変換効率が得られる高感度で高鮮鋭な放射線検出装置を提供する。【解決手段】 2次元に配置された光電変換素子を備えたセンサパネル100と、前記センサパネル100上に配され、大気圧プラズマ処理された表面を有する蛍光体下地層111と、前記蛍光体下地層111上に接して形成された蛍光体層112とを備えている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

2次元に配置された光電変換素子を備えたセンサパネル上に、放射線を前記光電変換素子が検知可能な光に変換する蛍光体層を有する放射線検出装置の製造方法であって、 前記センサパネル上に配された蛍光体下地層の表面を大気圧プラズマ処理する工程と、 前記蛍光体下地層表面上に前記蛍光体層を形成する工程とを有することを特徴とする放射線検出装置の製造方法。

IPC (3件)：

G01T1/20 ,  H01L27/14 ,  H01L31/09

FI (6件)：

G01T1/20 E ,  G01T1/20 B ,  G01T1/20 G ,  H01L31/00 A ,  H01L27/14 D ,  H01L27/14 K

Fターム (32件)：

2G088EE01 ,  2G088FF02 ,  2G088GG10 ,  2G088GG19 ,  2G088GG20 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ10 ,  2G088JJ37 ,  4M118AB01 ,  4M118AB10 ,  4M118BA05 ,  4M118CA32 ,  4M118CB11 ,  4M118FB03 ,  4M118FB09 ,  4M118FB24 ,  4M118HA02 ,  4M118HA11 ,  4M118HA23 ,  4M118HA24 ,  4M118HA26 ,  5F088AB05 ,  5F088BA11 ,  5F088BA20 ,  5F088BB07 ,  5F088BB10 ,  5F088EA04 ,  5F088EA08 ,  5F088GA02 ,  5F088JA17 ,  5F088LA07

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 放射線検出素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-060707   出願人：浜松ホトニクス株式会社
• 放射線イメージセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-173080   出願人：浜松ホトニクス株式会社