特許

J-GLOBAL ID：200903027538289877

近接視野顕微鏡

発明者： 福澤 健二 ,  シンヤ アカミネ ,  桑野 博喜
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-218675
公開番号（公開出願番号）：特開平8-082633
出願日： 1994年09月13日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】 近接視野顕微鏡の測定の自由度を増大できる近接視野顕微鏡の提供。【構成】 被観測物体を載置する試料台と、前記試料台の上方に傾斜して延在するとともに光源からの光を導き下面側の開口から前記被観測物体に対して光を射出する片持梁構造の平板形の導波体と、前記開口から射出されかつ前記被観測物体の表面で反射した光の強度を検出する光強度測定器と、前記導波体を前記試料台に対して3軸方向に走査させる走査機構と、前記導波体の移動距離を測定して前記被観測物体と前記開口との距離を検出する測距機構とを有するとともに、前記開口の開口径は前記光の波長以下に形成され、かつ前記被観測物体1と前記開口の距離が前記光の波長以下に設定されるように構成されている。

請求項（抜粋）：

被観測物体を載置する試料台と、前記試料台の上方に傾斜して延在するとともに光源からの光を導き下面側の開口から前記被観測物体に対して光を射出する導波体と、前記被観測物体からの光の強度を検出する光検出器と、前記試料台に対して前記導波体や光検出器からなるなる光強度を測定する手段の相対的な位置関係を変える走査機構と、前記導波体の移動距離を測定して前記被観測物体と前記開口との距離を検出する測距機構とを有するとともに、前記開口の開口径は前記光の波長以下に形成され、かつ前記被観測物体と前記開口の距離が前記光の波長以下に設定されるように構成されてなることを特徴とする近接視野顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 近接場走査型顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-175562   出願人：株式会社ニコン