特許

J-GLOBAL ID：200903027543819884

光学測定装置

発明者： 野田 直昭 ,  野田 貞雄
出願人/特許権者： サンクス株式会社
代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-222090
公開番号（公開出願番号）：特開2007-040714
出願日： 2005年07月29日
公開日（公表日）： 2007年02月15日
要約：

【課題】反射率の低い測定対象物における測定時間の短縮を図ることが可能な光学測定装置を提供すること。【解決手段】光学測定装置10は、波長選択手段と感度変更手段を備える。波長選択手段は、光源21から受光素子41までの光路上に配置され通過する光の波長を選択する波長選択部22により構成されている。受光素子41にはバイアス電圧Vbが供給され、該受光素子41はそのバイアス電圧Vbに応じた受光感度にて入射光に応じたレベルを持つ受光信号S3を出力する。そして、測定部26は、受光信号S3のレベルが計測レベルよりも低い場合には感度変更部44によりバイアス電圧Vbを変更する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数の異なる波長を含む光を出射する投光手段と、 少なくとも光学的収差を持つ対物レンズを含み前記投光手段からの光を測定対象物に向けて集光させる集光手段と、 前記測定対象物からの反射光を分岐する分岐手段と、 前記分岐手段により分岐された光を受光する受光手段と、 前記投光手段から前記受光手段までの光路上に配置され前記受光手段に入射される光の波長を選択する波長選択手段と、 前記波長選択手段により選択された光に対する選択波長情報と前記受光手段の受光量に基づいて、測定対象物の光軸方向における距離を測定する測定手段と、 前記受光手段の受光感度を変更する感度変更手段と、 を備えたことを特徴とする光学測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/00

FI (1件)：

G01B11/00 B

Fターム (13件)：

2F065AA06 ,  2F065DD06 ,  2F065FF10 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065NN11 ,  2F065PP12

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 共焦点走査型光学顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-037783   出願人：株式会社島津製作所