三次元形状測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮川貞二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-315210
公開番号（公開出願番号）：特開2002-122416
出願日： 2000年10月16日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】最小分解能が高く且つ測定可能な最大値が大きい三次元形状測定装置を提供する。【解決手段】投影光学系113と;撮像光学系111と;基準パターン画像を保存する基準パターン画像保存ファイル117bと;撮像された照明パターン画像から抽出された測定点1a’と、前記基準パターン画像の測定点1a’に対応する基準点2a’の座標とを比較して、測定対象物1の3次元形状を演算する形状演算手段117aとを備え;複数の照明パターン画像を取得するために、前記パターン投影光学系と前記撮像光学系との少なくとも一方が、複数備えられ;前記基準パターン画像は、前記複数のパターン投影光学系または撮像光学系111、112毎に、基準パターン画像保存ファイル117bに保存され;前記取得された複数の照明パターン画像と該照明パターン画像に対応する基準パターン画像とに基づいて形状演算手段117aで演算される複数の演算結果を統合する統合演算手段117cとを備える三次元形状測定装置。

請求項（抜粋）：

測定対象物を置く測定対象領域に照明パターンを投影するパターン投影光学系と;前記測定対象物の置かれた測定対象領域に投影された照明パターンを撮像する撮像光学系と;前記撮像光学系で撮像された照明パターンの画像と比較すべき基準パターン画像を保存する基準パターン画像保存ファイルと;前記撮像された照明パターン画像から抽出された測定点と、前記基準パターン画像の前記測定点に対応する基準点の座標とを比較して、前記測定対象物の3次元形状を演算する形状演算手段とを備え;複数の照明パターン画像を取得するために、前記パターン投影光学系と前記撮像光学系との少なくとも一方が、複数備えられ;前記基準パターン画像は、前記複数のパターン投影光学系または撮像光学系毎に、前記基準パターン画像保存ファイルに保存され;前記取得された複数の照明パターン画像と該照明パターン画像に対応する基準パターン画像とに基づいて前記形状演算手段で演算される複数の演算結果を統合する統合演算手段とを備える;三次元形状測定装置。

IPC (4件)：

G01B 11/24 , G01B 11/25 , G03B 15/00 , G06T 1/00 315

FI (5件)：

G03B 15/00 S , G06T 1/00 315 , G01B 11/24 A , G01B 11/24 E , G01B 11/24 K

Fターム (26件)：

2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065CC16 , 2F065DD03 , 2F065FF04 , 2F065GG04 , 2F065HH06 , 2F065HH07 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL42 , 2F065QQ31 , 2F065UU01 , 2F065UU05 , 5B057AA19 , 5B057BA02 , 5B057CA01 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB18 , 5B057CC01 , 5B057CD14

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