気体マス・フロー測定システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-519739
公開番号（公開出願番号）：特表平11-502026
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：

【要約】気体搬送システムにおいて気体のマス・フローを測定する装置及び方法である。この装置は、気体源に接続されるように構成されている。この装置は、気体源(12)と流体的に接続している固定された体積のチャンバ(14)を含む。フロー制御デバイス(20)を用いて、チャンバの中への気体のフローを制御することができる。トランスデューサ・アセンブリ(31)は、チャンバと流体的に接続している圧力トランスデューサ(30)と、その圧力トランスデューサと関連する信号修正ネットワーク(32)とを備えている。圧力トランスデューサによって、チャンバ内の気体の圧力の測定が可能になり、気体の既知の体積の圧力を表す第1の電気信号が提供される。信号修正ネットワークは、この第1の信号を修正して、PV/RTに比例する、すなわち、チャンバ内の気体のモル数を直接的に表す出力信号を生じる。この装置は、マス・フロー・コントローラなどを較正するのにも有用である。

請求項（抜粋）：

質量を測定すべき気体を含む固定された体積の空間を定義する手段と共に用いるトランスデューサ・アセンブリであって、 (a)第1の信号を、前記固定された体積の空間の内部の前記気体の圧力の関数として発生する手段と、 (b)前記第1の信号に応答して、前記固定された体積の空間の内部の前記気体の温度の関数として、前記固定された体積における前記気体の質量を表す出力信号を発生する手段と、を備えていることを特徴とするトランスデューサ・アセンブリ。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公平7-009207
特開昭64-079632
電圧/周波数変換方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-192378 出願人：多摩川精機株式会社

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