特許
J-GLOBAL ID：200903027556036170
洗浄処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-335414
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163493
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】[目的]洗浄処理装置の構成の簡素化と洗浄処理スループットの向上をはかる。[構成]反転ユニット206の下段室12において、室上部の所定位置には、矢印Gで示すように開閉可能で、かつ矢印Hで示すように反転可能に構成されたウエハ把持アーム34A,34Bが設けられている。室底部の所定位置には、ウエハWを支持した状態で矢印Jで示すように回転運動を行うように構成されたオリフラ合わせ用のスピンチャック52が設けられている。室中間部には、ウエハ把持アーム34A,34Bとスピンチャック52との間で矢印Kで示すように昇降可能に構成されたウエハ支持台56が設けられている。
請求項（抜粋）：
板状の被処理体の片面を洗浄する洗浄手段を有する第1のユニットと、前記被処理体の面を反転する被処理体反転手段を有する第2のユニットと、前記第1および第2のユニット間で前記被処理体を搬送する搬送手段と、を具備したことを特徴とする洗浄処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/68
, H02P 8/00
