特許
J-GLOBAL ID:200903027562539183
3次元メモリアレイ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
古谷 聡
, 溝部 孝彦
, 西山 清春
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-571614
公開番号(公開出願番号):特表2006-514781
出願日: 2003年04月03日
公開日(公表日): 2006年05月11日
要約:
3次元メモリアレイは、平坦な表面(12)を有する基板(10)上に製作される。3次元メモリアレイは、平坦な表面(12)に対して平行な2つ以上の平面(12、14)内に構成される複数の第1の選択線(20)を含む。複数の第2の選択線(18)は、基板(10)の平坦な表面(12)に対して直交して配置されるピラー内に形成される。複数のメモリセル(22)は、複数の第1の選択線(20)及び複数の第2の選択線(18)にそれぞれ結合される。
請求項(抜粋):
3次元メモリアレイであって、
平坦な表面(12)を有する基板(10)と、
前記平坦な表面(12)に対して平行な2つ以上の平面(14、16)内に構成される複数の第1の選択線(20)と、
前記基板(10)の前記平坦な表面(12)に対して直交して配置されるピラー内に形成される複数の第2の選択線(18)と、及び
前記複数の第1の選択線(20)及び前記複数の第2の選択線(18)にそれぞれ結合される複数のメモリセル(22)とを含む、3次元メモリアレイ。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L27/10 431
, H01L27/10 448
Fターム (12件):
5F083CR14
, 5F083CR15
, 5F083GA10
, 5F083JA05
, 5F083JA19
, 5F083JA35
, 5F083JA36
, 5F083JA39
, 5F083JA60
, 5F083KA01
, 5F083KA05
, 5F083ZA13
引用特許: