無人搬送車システム

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：矢野寿一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-038342
公開番号（公開出願番号）：特開2003-243474
出願日： 2002年02月15日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】異なるサイズのウエハが同一の製造ラインに混在している場合でも、サイズ毎に異なる搬送車を用意する必要がなく、同一の搬送車で異なるサイズのウエハの搬送をも可能とする無人搬送車システムを提供する。【解決手段】無人搬送車2に、ウエハの移載を行う枚葉移載装置18と、ウエハを収納するバッファカセット17aと、枚葉移載装置18の制御装置12とを設け、バッファカセットは搬送車本体5に対して着脱可能に設けられると共に、制御装置12に、搭載されるバッファカセットに収納されるウエハのサイズごとに異なる移載動作プログラムを記憶させ、載置されるバッファカセットの取付面形状の違いを検出する検出機構が設けられ、検出機構の検出結果に基づいて、載置されたバッファカセットに応じた保持機構を作動させる制御装置12を設けた。

請求項（抜粋）：

ウエハを収納するバッファカセットと枚葉移載装置を搭載し、ウエハの処理装置へウエハを収納するバッファカセットを搬送し、前記枚葉移載装置によってバッファカセット内のウエハを処理装置に移載する無人搬送車と、枚葉移載装置の移載動作制御装置とを備えた無人搬送車システムにおいて、前記制御装置に、バッファカセットに収納されるウエハのサイズにそれぞれ対応した移載動作を枚葉移載装置にさせるための移載動作プログラムを格納したことを特徴とする無人搬送車システム。

IPC (6件)：

H01L 21/68 , B61B 13/00 , B61D 27/00 , B65G 1/00 501 , B65G 1/00 547 , B65G 49/07

FI (7件)：

H01L 21/68 A , B61B 13/00 D , B61D 27/00 S , B65G 1/00 501 C , B65G 1/00 547 A , B65G 49/07 C , B65G 49/07 L

Fターム (56件)：

3F022AA08 , 3F022BB09 , 3F022CC02 , 3F022EE05 , 3F022KK10 , 3F022LL12 , 3F022MM08 , 3F022NN13 , 3F022PP01 , 3F022PP04 , 3F022QQ11 , 3F022QQ17 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031DA17 , 5F031EA18 , 5F031FA01 , 5F031FA03 , 5F031FA09 , 5F031GA08 , 5F031GA24 , 5F031GA30 , 5F031GA35 , 5F031GA36 , 5F031GA38 , 5F031GA43 , 5F031GA49 , 5F031GA50 , 5F031GA58 , 5F031HA13 , 5F031HA59 , 5F031JA01 , 5F031JA02 , 5F031JA04 , 5F031JA08 , 5F031JA14 , 5F031JA15 , 5F031JA17 , 5F031JA28 , 5F031JA29 , 5F031JA34 , 5F031JA35 , 5F031JA36 , 5F031JA40 , 5F031JA50 , 5F031JA51 , 5F031KA11 , 5F031KA13 , 5F031KA14 , 5F031KA20 , 5F031LA13 , 5F031LA15 , 5F031MA06 , 5F031NA02 , 5F031PA02 , 5F031PA16

引用特許：

審査官引用 (2件)

自動移載装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-291775 出願人：神鋼電機株式会社
特開平1-155640

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